真空中微波等离子体喷流电子数密度分布规律实验研究

摘要

为了准确诊断真空中微波等离子体喷流的电子数密度,利用统一的发射和单郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线.根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明,当真空环境压强为2-6 Pa、等离子体发生器以60W以下的微波功率击穿流量范围是42-106 mg/s的氩气时,所产生的微波等离子体喷流中电子数密度分布在1×1016-7.2×1016/m3范围内.