1kΩ量子霍尔阵列电阻标准器件研制

摘要

基于量子霍尔效应的整数值量子电阻标准计量器件,能够有效缩短电阻的量值传递链,减少传递过程引入的不确定度,实现电阻传递的量子化和扁平化.本文系统报告了基于GaAs/AkGa1-xAs异质结的1 kΩ量子霍尔阵列电阻标准器件的设计、制作和测试.该器件在1.5 K下的测量结果与设计值的相对偏差为-1.96×10-7,测试数据的离散性为2.07×10-7.表明我们实现了1 kΩ量子霍尔电阻标准阵列器件.