石墨烯量子霍尔器件制备方法以及石墨烯量子霍尔器件

摘要

本申请提供一种石墨烯量子霍尔器件制备方法以及石墨烯量子霍尔器件，在制备过程中不需要使用光刻或者电子束曝光，不需要接触光刻胶等有机大分子结构，避免了光刻胶残留等对石墨烯的污染，避免了此等污染造成的石墨烯量子霍尔器件迁移率降低、石墨烯量子霍尔器件电阻量子化不充分引起的阻值偏差等问题。从而，通过所述石墨烯量子霍尔器件制备方法，提高了所述石墨烯量子霍尔器件的性能，可用于国家电阻基标准系统和便携式电阻基标准系统。同时，通过所述石墨烯量子霍尔器件制备方法不存在与光刻胶相关的步骤，节省了旋涂光刻胶、去除光刻胶等相关步骤，减少了制作过程，简化了工艺，节约了制备成本，提高了制备效率。