BC_2N薄膜的柱状生长及生长机理

马锡英; 贺德衍; 陈光华

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BC_2N薄膜的柱状生长及生长机理

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应用热丝辅助等离子体化学气相沉积法 (CVD)合成了表面呈柱状的BC2 N薄膜 ,X射线、红外及X射线电子能谱分析表明 ,薄膜的化学组分主要为BC2 N ,B ,C和N原子间互相结合成键 .扫描电镜观察到 ,薄膜表面形貌呈排列整齐、取向一致的柱体 ,并且发现这种生长方式与沉积参数密切相关 .最后从结合能方面讨论了柱状BC2 N的生长机理 .

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来源
《物理学报》 |2001年第10期|2023-2027|共5页
作者
马锡英; 贺德衍; 陈光华;
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作者单位

兰州大学物理科学与技术学院;

兰州730000;

北京工业大学应用物理系;

北京100022;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
生长机理; BC2N薄膜; 柱状生长; CVD法; 热丝辅助等离子体化学气相沉积法; 硼碳氮化合物;

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