CdTe太阳电池前电极SnO_2:F/SnO_2复合薄膜性能分析

摘要

减薄CdS窗口层是提高CdS/CdTe太阳电池转换效率的有效途径之一,减薄窗口层会对器件造成不利的影响,因此在减薄了的窗口层与前电极之间引入过渡层非常必要.利用反应磁控溅射法在前电极SnO2:F薄膜衬底上制备未掺杂的SnO2薄膜形成过渡层,并将其在N2/O2=4:1,550℃环境进行了30min热处理,利用原子力显微镜、X射线衍射仪、紫外分光光度计对复合薄膜热处理前后的形貌、结构、光学性能进行了表征,同时分析了复合薄膜的电学特性.结果表明,未掺杂的SnO2薄膜没有出现异相的谱线,并且(110)择优取向,与衬底具有相同的结构,复合薄膜界面无晶格失配;退火后,复合膜更加均匀致密,表面更加规则,平整,光洁;薄膜电阻增大,满足阻挡层的要求,具有良好的电学均匀性和大于80%的透过率.最终制备出适合用作CdS/CdTe太阳电池前电极的SnO2:F/SnO2复合薄膜。