气体动态稀释装置的可靠性评价

摘要

基于质量流量控制器(MFC)搭建了一套稀释装置,并通过高精度甲烷光谱仪验证了该装置的可靠性.试验结果表明,稀释比为0.01～0.02时,理论稀释浓度的相对误差不超过±4％;稀释比为0.04～0.1时,理论稀释浓度的相对误差在±0.5％以内.因此,稀释比很小时稀释装置的准确性欠佳.MFC上游输入气体压力变化对其输出气体流量存在影响,当输入压力在0.2～0.6 MPa范围内变化时,MFC输出气体流量变化极差不超过1％,由此导致稀释装置输出的标准气体浓度的变化不超过1％.使用稀释装置制备标准气体时,优先设定MFC在满量程10％以上的范围内工作,以保证稀释装置的可靠性.