恒温压动态法气体微小流量标准装置的研制

摘要

随着所操控流体的量级等级的升高,精准的流体计量在微小流量计量仪表的溯源上愈加困难.针对该问题,提出了一种基于主动恒温压零平衡动态检定原理的微小气体流量溯源方法.基于该方法研制了流量检定标准装置,设计了双活塞驱动的机械结构以及一种基于LabVIEW和PLC的检定系统软硬件,并对装置进行了不确定度评定.实验结果表明:基于所提方法的标准流量装置能较好地维持检定过程中流量和状态参数的稳定,其检定不确定度优于0.3％,可满足微小气体流量仪表的检定或校准要求.