振动基标准装置隔振技术的研究与应用

摘要

振动基标准装置属精密测量设备,需对其关键设备振动台和激光干涉仪采用有效的隔振技术,以减少外界环境振动对振动量值精确测量的影响.基于隔振理论和振动传播规律,分析了环境振动的主要振源和隔振系统的动态特性,重点介绍了低频和超低频振动台采用的隔振技术,提出了几个应考虑的隔振措施.指出低频超低频振动台主动隔振和振动激励系统反馈控制研究的进展依赖于高精度传感器和微信号处理技术等相关领域的发展.