冶金级硅单向凝固过程中杂质分凝特性的研究

摘要

应用单向凝固技术,用冶金级硅制得单向凝固试棒。研究了多晶硅试棒凝固过程中杂质分凝特性、杂质元素的轴向分布规律及提纯效果。结果表明,在冶金级硅单向凝固试棒中,存在杂质元素的负偏析区,凝固工艺参数G_L、R及G_L/R对杂质元素的分凝特性有极显著的影响。