SiON／SiN太阳电池双层减反膜的性能研究

摘要

报道了用电子回旋共振化学气相沉淀积技术淀积ＳｉＯＮ／ＳｉＮ双层硅太阳电池减反膜的实验研究。用红外吸收谱，俄歇电子谱以及二次离子质谱等实验方法对薄膜的组分，结构２，界面过渡区的特性以及膜层中的氢分布进行了分析，实验表明：在制备减反射膜中，要获得较佳的减反效果，应尽量降低淀积温度，增大微波功率。