添加EDTA电共沉积GaAs薄膜工艺研究

摘要

采用恒电流电共沉积技术,以SnO2导电玻璃为基片制备了CaAs薄膜.通过观察实验过程和对比各次实验结果,研究了在电解液中加入络合剂EDTA对成膜质量的影响以及实验过程中的烧焦现象和电火花现象.采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)仪测试表明,沉积膜为GaAs多晶薄膜,加入络合剂EDTA明显改善了薄膜的表面形貌,提高了沉积膜的厚度,降低了各次实验数值分散性,而且使沉积膜中As与Ga的化学计量比更接近1:1.选择适当的沉积工艺可以避免烧焦和电火花的出现.