真空微电子学的新发展

摘要

本文描述了正在兴起的一门新学科——真空微电子学——的发展概况,它的工作原理,微型真空三极管的构造及集成加工技术。详细给出了薄膜场致发射阴极的制造过程,讨论了这类器件的应用领域及需进一步研究的问题。