表面物理性吸附与石英晶体湿度传感器性能的研究

摘要

本文针对带有吸湿性涂层的石英晶体谐振器的研究，提出了一种三层结构的力学模型，并在此基础上导出了谐振器频偏量与表面吸附量间的关系公式。实验证明该公式更好地反映了表面吸附与湿敏特性的关系。对于其它石英晶体谐振式气敏及离子敏传感器，该公式也具有相当的实用意义。