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场发射阵列中聚焦电极制备的自对准技术

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摘要

本文讨论了制造Spindt型聚焦场发射阵列FFEA过程中需要的对准技术,提出了具有自对准能力的刻蚀方法,满足了聚焦型发射阵列的聚焦极与门极的精确对准.比较了传统方法与新方法的不同,具体论述了整个工艺过程,并对制备出的器件进行了SEM观测,结果达到了预想的目标.

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来源
《电子学报》 |2000年第12期|29-30|共2页
作者
屈晓声; 李德杰; 田宏; 姚保纶;
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作者单位

清华大学电子工程系,北京 100084;

清华大学电子工程系,北京 100084;

大连铁道学院电信分院,大连 11602;

清华大学电子工程系,北京 100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类热敏电阻热辐射探测器;
关键词
自对准; 聚焦电极; 双门聚焦; 聚焦FEA;

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