PCVD法制备ZrO2和YSZ薄膜

摘要

以金属β－二酮类有机螯合物Ｚｒ（ＤＰＭ）４和Ｙ（ＤＰＭ）３为挥发性源物质，采用微波等离子体化学气相淀积法于较低的温度下（４２０～５６０℃）成功地在多孔α－Ａｌ２Ｏ３陶瓷、非晶玻璃等衬底上制备出致密的ＺｒＯ２和ＹＳＺ薄膜材料。ＸＲＤ分析结果表明，纯ＺｒＯ２薄膜中除了单斜相外还存在着亚稳态的四方相。当掺入的Ｙ２Ｏ３摩尔百分含量大于或等于７％时，ＺｒＯ２完全被稳定成立方相。ＳＥＭ观察表明，在了子体内的不