激光烧蚀La2O3产生的等离子体的发光光谱研究

摘要

用发光光谱法研究了355nm脉冲激光在真空和O2气氛中烧蚀La2O3产生的等离子体的组成和形成过程.对等离子体中La+离子和LaO的空间和时间分辨发光光谱分析表明,在O2气氛中LaO有两个生成通道:一是在靶附近的等离子体内直接生成的,另一是由La2La+与O2发生氧化反应而生成的.测定了激光能量密度,离靶表面的距离和O2压力对产物发光的延迟时间和发光强度的影响.此外,还讨论了激光烧蚀La2O3诱导产生等离子体的形成和演化机理.