一种利用激光烧蚀等离子体发射光谱信息判定烧蚀冲量的方法及装置

摘要

本发明公开了一种利用激光烧蚀等离子体发射光谱信息判定烧蚀冲量的方法及装置：该方法包括：①构建基于扭摆冲量测量装置和等离子体发射光谱测量装置；②获取扭摆系统振动角度；③计算激光烧蚀安装于靶材上的冲量；④获得等离子体光谱信息；⑤计算激光烧蚀产生的激光烧蚀等离子体电子数密度大小；⑥获得某一激光能量密度下的冲量大小。该装置包括用于测量激光烧蚀产生的冲量的扭摆冲量测量装置和等离子体发射光谱测量装置。本发明可避免扭摆法测量时环境干扰的影响，通过等离子体发射光谱测量装置判定激光烧蚀冲量大小。