低能钒离子注入花生种子的深度分布

摘要

采用卢瑟福背散射(RBS)和X射线能谱分析法(EDAX)对V元素在花生种子中的深度分布进行了测量,并用扫描电镜对注入前后花生种胚的形貌变化进行观察.结果表明,由于样品表面较粗糙以及其特殊结构,RBS方法不适于测量钒在花生种胚中的深度分布,trjm95也不适合于时注入钒离子在花生种子中的深度进行模拟,而EDAX的测量结果表明V离子的穿透深度可达到15μm.另外,注入前后花生种胚的形貌发生了显著变化.