一种新型的MEMS单矢量水听器研究

摘要

依据压阻效应原理,利用微电子机械系统(MEMS)制作技术设计并制作出一种新型的水声接收换能器-MEMS单矢量水听器,期望利用敏感材料的压阻效应以及水听器精巧的微结构,实现矢量水听器的低频特性和小型化.通过有限元软件ANSYS对水听器微结构进行了静态仿真,利用MEMS微机械加工工艺制作出水听器微结构并对水听器进行了封装,采用振动台标定和水下驻波场测试相结合的方法完成了水听器的测试.测试结果表明:结合压阻效应原理和MEMS技术制作矢量水听器具有可行性.该水听器不但体积小、质量轻、结构简单,而且具有"8"字型的指向特性,单个水听器就能对水下水平面内的声源目标进行定向探测.