碳/碳复合材料表面沉积SiC的形态和成分

摘要

在ＰＡＮ碳布和沥青基体碳的Ｃ／Ｃ复合材料表面涂复了ＳｉＣ。用ＣＨ４和Ｎ，为载气的ＳｉＣｌ４作原料，用Ｈ２为稀释气，在两种气体混合比和三种温度下化学气相沉积ＳｉＣ涂层。分析表明，涂层的主要元素有Ｃ，Ｓｉ、Ｃｌ和微量Ｃａ。电镜观察表明，涂层中Ｃ原子含量为６２％时呈菜花状或云团状，而当Ｃ／Ｓｉ比接近于１时，表面呈菠萝状。