University of California Berkeley;
机译:用于光通信设备的微加工硅基板
机译:微型Schwarzschild物镜,不含主要像差的微光学组件:概念,设计和首次通过硅玻璃微加工实现
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机译:基于绝缘体基于绝缘体的微机械技术,用于亚赫赫兹波导器件
机译:用于光学通信和LIDAR的硅光子器件
机译:脑上实验室:用于体内神经细胞分析的可植入微光学流体设备
机译:用于汽车电源线通信中阻抗匹配的微机械设备
机译:微电子光学器件采用5级多晶硅表面微加工技术