Carnegie Mellon University;
机译:通过超高真空化学气相沉积直接在硅衬底上外延生长的富锗硅锗薄膜
机译:使用超高真空化学气相沉积与RF等离子体增强的锗 - 硅的异质生长
机译:采用超高真空化学气相沉积的两步锗外延技术增强了小尺寸(具有1- $ mu hbox {m} $栅极长度)的结型场效应晶体管基锗光电探测器的灵敏度
机译:通过超高真空化学气相沉积对(001)Si产生的锗的放松机制有些见解
机译:基于外延锗层的金属氧化物半导体器件,通过超高真空化学气相沉积直接在硅衬底上选择性生长
机译:PBS直接化学沉积对化学气相沉积的高性能光伏红外光探测器的数据
机译:用于后端光子集成的低温锗超高真空化学气相沉积