The Chinese University of Hong Kong (People's Republic of China).;
机译:2015年5月4日至6日在西班牙巴塞罗那举行的SPIE EUROPE“ MICROTECHNOLOGIES”研讨会上的“智能传感器,执行器和MEMS”,“网络物理系统”以及“生物MEMS和医疗微设备”会议的特刊
机译:超越CMOS:III-V器件,RF MEMS和其他异种材料/器件与Si CMOS的异构集成,以创建智能微系统
机译:基于微机电系统(MEMS)的生物医学应用微流控设备
机译:MIDS:使用MEMS传感器的微型输入设备系统
机译:环境对微机电系统(MEMS)器件中使用的微米级硅膜疲劳失效的影响。
机译:超越CMOS:III-V器件RF MEMS和其他异种材料/器件与Si CMOS的异构集成以创建智能微系统
机译:超越CMOS:III-V设备的异构集成,RF MEMS和其他不同材料/设备与SI CMOS创建智能微系统
机译:微电子机械系统(mEms)规模生物启发导航传感器的Haltere力学和机械逻辑。