一种MEMS传感器系统及其使用方法

摘要

本发明公开了一种MEMS传感器系统，其包括：MEMS传感器，其包含有：上极板、中间极板以及下极板；前置放大器用于将MEMS传感器输出的电荷量转化为模拟电压信号输出；前置放大器包含有运算放大器和反馈电容；补偿电容，其第一端与中间极板电性连接，第二端接入共模电压用于存储MEM传感器的部分电荷量；模数转换器用于将模拟电压信号转换为数字电压信号输出；数字信号处理器用于对模数转换器输出的数字电压信号进行噪声压制处理，并根据噪声压制处理后的数字电压信号生成时序信号，且将时序信号输出；脉冲产生器用于根据时序信号产生脉冲信号，以驱动MEMS传感器工作。本发明能够有效改善MEMS传感器噪声性能，降低系统功耗，提高系统精度。