Georgia Institute of Technology.;
机译:在硅上进行3D高纵横比微细加工和纳米加工的均匀金属辅助化学蚀刻中的电荷传输。
机译:通过电偏流金属辅助化学蚀刻(EMaCE)对单晶硅和多晶硅进行高速,高纵横比,高均匀性和3D复杂性的深度蚀刻
机译:硅中金属辅助化学蚀刻中带有固定催化剂的3D平面外旋转蚀刻
机译:用金属辅助化学蚀刻和电化学蚀刻形成硅中多孔结构的形成
机译:半导体纳米制剂通过金属辅助化学蚀刻:三元III-V合金和替代催化剂
机译:从硅工程到多孔硅和硅金属辅助化学刻蚀的纳米线:Ag的大小和作用电子清除率对形貌控制及机理的影响
机译:使用直接电场的金属辅助化学蚀刻硅3D纳米结构