Georgia Institute of Technology.;
机译:具有基于衍射的光学位移检测的微机械麦克风
机译:具有微机械仿生膜片的定向光学麦克风的集成光学位移检测和静电驱动
机译:基于衍射光学编码器的微机械硅力传感器,用于表征微注射
机译:集成低压和低功率CMOS电路,用于基于衍射的微加工麦克风的光学传感
机译:微机械加工的硅衍射光学力编码器:生物学上的操作原理和应用。
机译:基于原子力显微镜的基于生物分子 - 钳位使用微机械静电致动器进行测量
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机译:模拟光学微机械探针