硅基异质结太阳电池非晶硅薄膜沉积技术研究

目录

第1章 绪论

1.1 光伏产业及晶硅太阳电池发展

1.1.1 光伏产业发展

1.1.2 太阳电池发展

1.2 硅基异质结(HAC)太阳电池结构与特点

1.2.1 硅基异质结太阳电池基本结构

1.2.2 硅基异质结太阳电池性能特点

1.3 国内外研究进展

1.4 本课题研究内容与目的

第2章 HWCVD法沉积非晶硅薄膜技术研究

2.1 引言

2.2 实验方法

2.2.1 薄膜的测试分析方法

2.2.2 HWCVD

2.2.3 实验方案

2.3 非晶硅薄膜沉积技术

2.3.1 本征a-Si:H薄膜沉积

2.3.2 n型掺杂非晶硅薄膜沉积及表征

2.4 章节小节

第3章 非晶硅薄膜对HAC太阳电池的影响

3.1 实验方法

3.1.1 测试方法及表征手段

3.1.2 衬底硅片清洗

3.2 非晶硅沉积工艺对HAC太阳电池的影响

3.2.1 “Dummy” 片

3.2.2 腔体温度对HAC太阳电池的影响

3.2.3 热丝电流对HAC太阳电池性能的影响

3.2.4 本征a-Si:H层掺氧对HAC电池性能的影响

3.3 窗口层材料厚度对HAC太阳电池的影响

3.3.1 本征a-Si:H层厚度对电池光谱响应以及效率的影响

3.3.2 p-a-Si:H层厚度对电池光谱响应以及效率的影响

3.4 章节小节

第4章 结论与展望

4.1 结论

4.2 展望

致谢

参考文献

攻读学位期间研究成果