基于TMDs混合维度结型紫外光电探测器的研究

目录

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摘要

附图说明

附表

1绪论

1．1紫外光电探测器

1．2紫外光电探测器的性能参数和结构类型

1．2．1性能参数

1．2．2器件结构类型

1．3二维过渡金属硫族化合物(TMDs)

1．4二维TMDs薄膜的制备方法

1．4．1机械剥离法

1．4．2超声液相剥离法

1．4．3离子插层液相剥离法

1．4．4化学气相沉积法(CVD)

1．5基于二维TMDs混合维度光电探测器

1．6本论文的研究思路与研究内容

2WS2／GaN异质结紫外光电探测器

2．1引言

2．2二维WS2薄膜

2．2．1二维WS2薄膜的结构与性质

2．2．2二维WS2薄膜的制备

2．2．3二维WS2薄膜的表征

2．3WS2／GaN异质结紫外光电探测器的制备

2．4WS2／GaN异质结紫外光电探测器的性能研究

2．5本章小结

3Gr／PtSe2／β-Ga2O3肖特基结紫外光电探测器

3．1引言

3．2二维PtSe2薄膜

3．2．1二维PtSe2薄膜的结构与性质

3．2．2二维PtSe2薄膜的制备

3．2．3二维PtSe2薄膜的表征

3．3Gr／PtSe2／β-Ga2O3肖特基结紫外光电探测器的制备

3．4Gr／PtSe2／β-Ga2O3肖特基结紫外光电探测器的性能研究

3．5本章小结

4总结与展望

4．1总结

4．2展望

参考文献

个人简历及研究生期间成果

致谢