基于纳米金刚石负光电导效应的湿度传感器研究

目录

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摘要

第1章绪论

1．1引言

1．2纳米金刚石

1．2．1纳米金刚石概述

1．2．2纳米金刚石的合成

1．2．3纳米金刚石的性质

1．3纳米金刚石的应用

1．3．1生物成像

1．3．2药物递送

1．3．3生物传感

1．4光电器件简述与分类

1．4．1正光电导器件

1．4．2负光电导器件

1．5纳米金刚石在光电器件领域的研究进展

1．6本课题的研究意义及创新点

第2章纳米金刚石材料的表征与器件制备工艺

2．1实验材料

2．2纳米金刚石材料的表征

2．2．1X-射线衍射仪(XRD)

2．2．2吸收光谱测试

2．2．3透射电子显微镜(TEM)

2．2．5X-射线电子能谱(XPS)

2．2．6热重分析测试(TGA)

2．3器件性能测试表征

2．3．1真空蒸发台

2．3．2激光直写光刻技术

2．3．3半导体分析仪

2．4本章小结

第3章纳米金刚石光电器件出现的负光电导现象

3．1负光电导现象研究进展

3．2纳米金刚石光电器件的负光电导现象

3．2．1纳米金刚石的结构表征

3．2．2纳米金刚石光电器件的制备流程

3．2．3纳米金刚石光电器件性能表征

3．3纳米金刚石光电器件出现负光电导现象的原因

3．4纳米金刚石光电器件出现负光电导现象的理论模型

3．5本章小结

第4章纳米金刚石光电器件在湿度传感器上的应用

4．1碳基湿度计研究进展

4．2纳米金刚石光电器件应用于湿度传感器

4．3本章小结

第5章总结与展望

参考文献

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致谢