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摘要
第一章绪论
1.1概述
1.2.2半导体金属传感器的类型
1.3光激发气敏传感器的现状
1.4光激发气敏传感器的机理研究
1.5半导体金属氧化物气敏原理
1.6研究目的与内容
第二章样品的制备、测试与表征方法
2.1样品的制备
2.2材料的表征方法
2.3气敏元件的制备和测试原理
2.3.1气敏元件的制备和测试原理
第三章Fe掺杂In2O3的气敏传感器的制备与多波长光激发条件下乙醇气敏性能的研究
3.1材料的制备与表征
3.1.2Fe掺杂In2O3纳米粉末的表征
3.2Fe掺杂In2O3粉末的气敏响应讨论
3.2.1Fe掺杂In2O3粉末的气敏响应讨论
3.2.2光照对气敏元件参数的影响
3.3本章小结
第4章多波长光激发下Zn掺杂CeO2纳米材料对丙酮气体气敏性能研究
4.1.2Zn掺杂CeO2纳米材料的表征
4.2Zn掺杂CeO2纳米粉末材料对乙酰丙酮测试结果与机理讨论
4.2.1无光条件下平面叉指型气敏传感器对乙酰丙酮的响应
4.2.3紫外光照条件下平面叉指型气敏传感器对乙酰丙酮的响应
4.3本章小结
第5章Fe掺杂In2O3/CeO2对乙酰丙酮的气敏特性研究
5.1引言
5.1.1Fe掺杂In2O3/CeO2纳米材料的表征
5.2纳米复合材料对乙酰丙酮的气敏响应结果与机理讨论
5.3光照对平面叉指电极气敏传感器气敏参数影响
5.3本章小结
第六章总结与展望
6.1总结
6.2实验展望
参考文献
致谢
山东大学;