摘要
第1章绪论
1．1研究目的和意义
1．1．1研究目的
1．1．2研究意义
1．2角度传感器国内外研究现状
1．2．1电容式角度传感器
1．2．2光栅式角度传感器
1．2．3霍尔式角度传感器
1．2．4磁阻式角度传感器
1．3论文主要研究内容
第2章角度传感器基本结构和工作原理
2．1角度传感器的基本结构
2．2角度传感器的工作原理
2．2．1巨磁电阻效应
2．2．2角度传感器芯片工作原理
2．2．3角度传感器工作原理
2．3本章小结
第3章角度传感器磁敏感单元的制作与特性
3．1角度传感器磁敏感单元的制作
3．1．1薄膜材料的制备方法
3．1．2磁敏感单元的设计与制作
3．2角度传感器磁敏感单元特性
3．2．1顶底电极对磁敏感单元磁特性的影响
3．2．2循环层数对磁敏感单元磁特性的影响
3．2．3非磁性层厚度对磁敏感单元磁特性的影响
3．2．4角度传感器磁敏感单元磁特性
3．2．5角度传感器磁敏感单元温度特性
3．3本章小结
第4章角度传感器的设计、制作及封装
4．1角度传感器芯片的结构设计
4．2角度传感器芯片的制作工艺
4．3角度传感器芯片的封装工艺
4．4角度传感器的封装工艺
4．5本章小结
第5章实验结果与讨论
5．1角度传感器芯片特性测试系统搭建
5．2角度传感器芯片的磁特性
5．3角度传感器芯片的静态特性
5．4角度传感器的特性标定
5．5本章小结
结论
参考文献
致谢
攻读学位期间取得学术成果
声明
黑龙江大学;
