全自动单晶炉自动控制系统设计

目录

声明

第1章 绪论

1.1半导体单晶硅材料发展状况

1.2直拉法单晶炉控制系统的现状

1.3论文研究的背景及意义

1.4论文的主要研究内容

1.5本文的主要架构

1.6本章小结

第2章 全自动单晶炉总体方案设计

2.1直拉法单晶炉概述

2.2直拉法单晶炉基本工艺过程

2.3大直径全自动单晶炉的技术要求

2.4大直径全自动单晶炉的总体设计

2.5本章小结

第3章 12英寸单晶炉机械结构设计

3.1主炉室设计

3.2旋板阀设计

3.3副炉室设计

3.4炉体升降旋转机构设计

3.5籽晶提升旋转机构设计

3.6坩埚升降旋转机构设计

3.7水冷循环系统设计

3.8真空系统设计

3.9氩气系统设计

3.10本章小结

第4章 电气自动控制系统设计

4.1电气控制系统整体架构

4.2电控系统的硬件组成

4.3电控系统软件设计

4.4本章小结

第5章 控制系统人机界面的设计与实现

5.1人机交互软件

5.2参数设置界面

5.3参数曲线界面

5.4辅助功能界面

5.5产线测试结果

5.6本章小结

第6章 总结与展望

6.1总结

6.2展望

参考文献

发表论文和参加科研情况说明

致谢