基于ZnO纳米棒的可见光增强气体传感器性能及特性研究

目录

声明

第一章 绪 论

1.1 研究工作的背景与意义

1.2 气体传感器分类和主要参数

1.2.1 典型的气体传感器

1.2.2 传感器的主要参数

1.3 基于ZnO材料的电阻式气体传感器

1.3.1 纳米结构改性

1.3.2 掺杂改性

1.3.3 光激发

1.4 光激发气体传感器的研究现状

1.5 论文的选题依据与主要研究工作

第二章 可见光激发电阻式气体传感器工作原理、制备工艺与测试方法

2.1.1 金属氧化物半导体气体传感器的气敏机理

2.1.2 可见光激发电阻式传感器原理

2.2 传感器的制备

2.2.1 传感器的功能器件

2.2.2 基于ZnO纳米棒的传感器

2.2.3 ZnO纳米棒阵列的制备

2.3.1 材料的表征方法

2.3.2 气敏测试平台

2.4 本章小结

第三章 Au-ZnO气体传感器制备及特性研究

3.1 引言

3.2 实验材料与仪器

3.3.1 ZnO纳米棒阵列膜的制备

3.3.2 ZnO纳米棒的Au纳米颗粒修饰

3.3.3 传感器气敏测试

3.4 结果与讨论

3.4.1 传感器气敏测试

3.4.2 材料的表面化学状态及光学特性

3.4.3 室温下光激发NO2气敏特性

3.5 本章小结

第四章 MoS2-ZnO-Au气体传感器制备及特性研究

4.1 引言

4.2 实验材料与仪器

4.3.1 ZnO纳米棒的制备

4.3.2 Au-ZnO纳米棒的MoS2纳米片修饰

4.3.2 传感器气敏测试

4.4 结果与讨论

4.4.1 少层MoS2纳米片修饰的Au-ZnO纳米棒薄膜的表征结果

4.4.2 室温下光激发NO2气敏特性

4.5 本章小结

第五章 总结与展望

5.1 论文工作总结

5.2 未来工作展望

致谢

参考文献

攻读硕士期间取得的研究成果