UFPA片级封装光学盖板集成技术研究

目录

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第一章 绪论

1.1 前言

1.1.1 非制冷红外焦平面探测器与封装

1.1.2 非制冷红外焦平面探测器片级封装技术

1.1.3 光学盖板技术特点

1.2 国内外研究现状

1.3 本文主要研究内容

1.4 本章小结

第二章 超表面红外平板透镜理论基础和结构设计

2.1 超表面红外平板透镜概念

2.2 超表面相位调制机理

2.2.1 麦克斯韦方程组

2.2.2 广义斯涅尔定律

2.3 超表面红外平板透镜设计过程

2.3.1 微结构单元仿真

2.3.2 红外平板透镜相位面设计

2.4 本章小结

第三章 非蒸散型薄膜吸气剂理论基础和制备工艺

3.1 薄膜吸气剂理论基础

3.1.1 吸气机理

3.1.2 吸气剂激活

3.1.3 薄膜吸气剂材料体系

3.1.4材料体系选择

3.2 薄膜吸气剂制备和分析

3.2.1 磁控溅射

3.2.2 样品制备

3.2.3 结果分析

3.3 本章小结

第四章 平板透镜光学系统测试及封装盖板的设计

4.1 超表面红外平板透镜制备工艺

4.1.1 掩膜版

4.1.2 光刻和刻蚀

4.2 偏转器性能测试

4.2.1 偏转器形貌表征

4.2.1 偏转器光束偏转器测量

4.3 红外平板透镜性能测试

4.2.1 平板透镜形貌表征

4.3.2 平板透镜结果分析

4.4 光学盖板总体设计

4.4 本章小结

第五章 总结与展望

5.1 本文总结

5.2 后续工作展望

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间学术成果