第一章 绪论
1.1 研究工作的背景与意义
1.2 压电微机电系统在国内外的研究历史与现状
1.2.1 压电微机电系统传感器与执行器
1.2.2 压电多轴微振动平台
1.2.3 压电行波超声微马达
1.3 本文的主要贡献与创新
1.4 本论文的内容与结构安排
第二章 弹性体的压电致动机理
2.1 引言
2.2 压电效应和压电方程组
2.2.1 压电弹性力学基本概念
2.2.2 广义胡克定律
2.2.3 压电方程组
2.3 单端固支梁的振动模型
2.3.1 弯曲固有振动
2.3.2 弯曲受迫振动
2.3.3 压电激励
2.4 圆形薄板的振动模型
2.4.1 面外固有振动
2.4.2 面外受迫振动
2.4.3 压电激励
2.5 本章小结
第三章 可用于惯性传感器自标定的压电多轴微振动平台
3.1 引言
3.2 动力学原理
3.3 结构和基本特性
3.3.1 折叠梁
3.3.2 结构参数
3.3.3 材料层
3.3.4 负载效应
3.4 六自由度运动
3.4.1 六自由度
3.4.2 工艺制造
3.4.3 幅频特性
3.4.4 四阶模态
3.4.5 阻尼分析
3.4.6 疲劳特性
3.4.7 频率稳定性
3.5 光学位移传感器
3.5.1 基本原理
3.5.2 运动监测
3.6 惯性传感器自标定
3.6.1 三维异构集成
3.6.2 自标定方案
3.6.3 闭环控制和自标定算法
3.6.3 自标定效果验证
3.7 本章小结
第四章 可用于微马达步进运动的扁平化压电行波执行器
4.1 引言
4.2 行波激发原理
4.2.1 驻波模态
4.2.2 行波激发条件
4.2.3 质点的椭圆运动
4.3 定子结构分析
4.3.1 结构参数
4.3.2 支撑结构
4.3.3 能量收集结构
4.4 新型行波执行器
4.4.1 高刚度结构行波执行器
4.4.2 柔性结构行波执行器
4.4.3 分区激励
4.4.4 工艺制造
4.4.5 静态特性
4.4.6 动态特性
4.4.7 输出扭矩
4.5 可调磁性预紧力结构
4.5.1 接触模型
4.5.2 可行性分析
4.5.3 可调磁性预紧力
4.5.4 启停控制
4.6 微马达步进控制
4.6.1 运动状态监测
4.6.2 闭环控制算法
4.6.3 步进运动控制
4.7 本章小结
第五章 全文总结与展望
6.1 全文总结
6.2 未来展望
致谢
参考文献
攻读博士学位期间取得的成果
电子科技大学;
