X射线镜的高精度面形检测技术研究

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第一章 绪论

1.1 课题的研究背景及其意义

1.2 X射线聚焦镜检测常用方法

1.3 国内外X射线聚焦镜的拼接干涉检测研究现状

1.4 本文的主要工作内容

1.5 本文的章节组织结构

第二章 拼接干涉检测原理

2.1 子孔径划分原理

2.2 拼接算法

2.3 数据配准方法

2.4 拼接矩阵的计算

2.5 X射线镜的拼接干涉检测中的拼接参数的求解

2.6 本章小结

第三章 基于X射线镜检测的一维点云匹配算法

3.1 X射线聚焦镜的一维拼接干涉检测的子孔径获取

3.2 一维点云配准算法

3.3 一维点云配准算法仿真分析

3.4 仿真误差分析

3.5 实验对比验证

3.6本章小结

第四章 拼接过程中的误差累积分析

4.1 RADSI检测系统

4.2 全局拼接算法

4.3 本章小结

第五章 工作总结及展望

5.1 总结

5.2 展望

致谢

参考文献

硕士期间发表科研成果