X射线环面聚焦镜压弯调整与面形测量

摘要

长条形柱面镜在一特制机构中压弯成环面镜,用以水平和垂直两个方向上聚焦同步辐射,是X射线光束线中常用的成像装置.压弯后的镜面精度直接影响成像质量.合肥X射线衍射光束线上的环面聚焦镜由德国ZIESS公司生产的柱面镜,配以国内自行研制的压弯机构,最后在法国ESRF实验室组合、调试和测量.结果可见,压弯半径随载荷增加而减小,三个循环的重复度＜2%,面形误差＜5μrad.