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张清涛;
中国科学院电工研究所;
铌镁酸铅; 钙钛矿相结构; 铁电薄膜; MEMS致冷器; 溶胶凝胶; 铁电致冷;
机译:通过在铍青铜薄基板上形成块状PZT厚膜的高性能双压电晶片压电MEMS采集器
机译:反铁电厚膜微悬臂梁在MEMS器件中的优异电致伸缩应变性能
机译:用于硅MEMS结构上的含铅铁电厚膜的稳定TiO_2 / Pt电极结构
机译:(1-X)Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3×XPBTIO_3(PMNT)铁电陶瓷(PMNT)的定量电子探针微分析
机译:具有感应和去耦功能的铁电薄膜和厚膜。
机译:铁电多晶块和厚膜的压电响应力显微镜研究
机译:新型弛豫铁电单晶pmNT /环氧树脂复合材料的研究
机译:重新开始制造用于铁电中子发生器电源的ZnO压敏电阻的化学制备工艺。
机译:铁电材料,包括铁电材料的MEMS组件,包括第一MEMS分量的MEMS器件,制造MEMS分量的方法,以及制造CMOS兼容MEMS组件的方法
机译:铁电材料,具有铁电材料的MEMS组件,具有第一MEMS组件的MEMS装置,制造MEMS组件的方法以及制造CMOS兼容MEMS组件的方法
机译:薄铁电层,涂覆有薄铁电层的基板,具有电容器结构的装置以及用于生产薄铁电层的方法
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