SiC单晶片线锯切割的表面粗糙度建模与预测研究

目录

1 绪论

1.1 引言

1.2 电镀金刚石线锯切割技术

1.2.1 往复式金刚石线锯切割技术

1.2.2 单向式金刚石线锯切割技术

1.3 表面粗糙度概述

1.3.1表面粗糙度对单晶片性能的影响

1.3.2 工件表面粗糙度的评价参数

1.3.2 国内外对工件表面粗糙度的研究现状

1.4 研究的背景及主要内容

1.4.1 研究的背景

1.4.2 目的及意义

1.5 论文的研究内容与结构

2 金刚石线锯切割机理及设备介绍

2.1 金刚石线锯切割机理

2.1.1 经典磨削理论

2.1.2 线锯切割材料的去除过程

2.2 线锯切割材料的去除率模型

2.2.1 单颗磨粒的材料去除率模型

2.2.2 线锯切割效率模型

2.3 试验设备及原理介绍

2.4 试验条件

2.4.1 切割材料的性能特点

2.4.2 线锯材料及性能

2.5 本章总结

3 金刚石线锯加工表面粗糙度的几何建模

3.1 切缝处线锯切割轨迹方程

3.2 线锯表面形貌分析

3.3 加工表面残留痕迹

3.3.1 加工表面磨粒残留痕迹方程

3.3.2 加工表面磨粒残留痕迹的交点

3.4 磨粒磨损的影响

3.5 表面粗糙度的预测和实验验证

3.5.1 表面粗糙度预测的具体步骤

3.5.2 预测与实验

3.6 结论

4 表面粗糙度数值模型的建立

4.1 线锯表面磨粒的分布

4.2 表面粗糙度模型建立

4.3 本章小结

5 金刚石线锯加工工艺参数优化研究

5.1 基于田口法的金刚石线锯加工工艺参数优化

5.1.1 田口法概述

5.1.1 因子的配置与正交表的选择

5.1.2 结果与分析

5.1.3 最优的切割参数的选择

5.1.4 预测最优信噪比及确认实验

5.2 基于神经网络的表面粗糙度预测

5.2.1 BP神经网络及径向基网络简介

5.2.2 BP神经网络建立表面粗糙度预测模型

5.2.3 径向基网络建立表面粗糙度预测模型

5.3 本章小结

6 总结与展望

6.1 总结

6.2 展望

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间发表论文及参与项目