考虑晶格因素的单晶蓝宝石微磨削材料去除机理研究

目录

声明

摘要

第1章绪论

1．1课题研究背景及意义

1．1．1课题来源

1．1．2选题依据

1．1．3课题的研究目的与意义

1．2微磨削材料去除机理国内外发展与研究现状

1．2．1国内发展现状

1．2．2国外发展现状

1．3本论文研究的主要内容

第2章单晶蓝宝石本构模型的分析与建立

2．1单晶蓝宝石材料特性

2．2单晶蓝宝石本构模型的分析

2．3裂纹的尖端应力场

2．4本章小结

第3章蓝宝石微磨削去除机理建模

3．1微槽加工的几何模型

3．2考虑晶格结构的磨削力建模

3．2．1考虑晶向的力学模型的建立

3．2．2晶格结构对磨削力的影响

3．3基于能量守恒的表面裂纹模型

3．4本章小结

第4章蓝宝石微磨削实验与结果

4．1实验装置与实验方案

4．1．1实验设备和工件材料

4．1．2实验方案设计

4．1．3微槽加工结果

4．2本章小结

第5章蓝宝石微磨削力分析

5．1实验结果和讨论

5．1．1微槽磨削中的磨削力

5．1．2磨削力中的晶格效应

5．2磨削力细节图以及力学模型的验证

5．3本章小结

第6章微磨削表面裂纹分析

6．1微磨削实验结果

6．1．1不同晶向蓝宝石表面裂纹的测量

6．1．2表面裂纹测量结果

6．2表面裂纹模型验证

6．3本章小结

第7章微磨削蓝宝石亚表面状况刻蚀分析

7．1腐蚀实验观测亚表面裂纹的合理性

7．2腐蚀设备和腐蚀方案

7．2．1腐蚀设备

7．2．2腐蚀方案

7．3蓝宝石亚表面腐蚀结果

7．3．1蓝宝石亚表面裂纹观测

7．3．2蓝宝石边缘亚表面能谱分析

7．4本章小结

第8章总结与展望

8．1全文总结

8．2工作展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间发表的学术论文