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摘要
第1章绪论
1．1前言
1．2硬质薄膜的分类
1．2．1硬质薄膜的发展历史
1．2．2三代硬质薄膜的介绍
1．3 TiAlSiN薄膜概述
1．3．1 TiAlSiN的结构
1．3．2 TiAlSiN的研究现状
1．4国内外硬质薄膜技术研究发展概况
1．4．1国外硬质薄膜研究动态
1．4．2国内硬质薄膜研究动态
1．4．3硬质薄膜的展望
1．5硬质薄膜制备方法
1．5．1物理气相沉积
1．5．2化学气相沉积
1．6本论文的选题背景及研究内容
第2章实验内容及方法
2．1磁控溅射技术简介
2．1．1溅射理论
2．1．2磁控溅射原理
2．1．3反应磁控溅射
2．2实验设备及流程
2．2．1实验所用设备
2．2．2靶材选择及试验流程
2．3薄膜测试仪器及分析方法
2．3．1显微硬度计
2．3．2扫描电子显微镜
2．3．4 X射线衍射仪(XRD)
2．3．5摩擦磨损实验机
第3章TiN薄膜的制备及TiAlSiN薄膜影响因素的探究
3．1 TiN薄膜的制备及表征
3．1．1 TiN薄膜的制备流程
3．1．2制备TiN薄膜的工艺设计
3．1．3 TiN薄膜的性能
3．2 TiAlSiN薄膜不同因素影响的研究
3．2．1试样的制备及工艺
3．2．2正交试验的原理
3．2．3正交试验设计
3．3正交试验结果与分析
3．3．1 TiAlSiN薄膜维氏硬度结果的极差分析
3．3．2不同因素对TiAlSiN薄膜硬度的影响
3．3．3 TiAlSiN薄膜结合力影响因素的极差分析
3．3．4不同因素对TiAlSiN薄膜结合力的影响
3．3．5薄膜微观形貌分析
3．3．6不同氮气分压TiAlSiN薄膜XRD图谱分析
3．4氮气流量对TiAlSiN薄膜的影响
3．4．1不同氮气流量TiAlSiN薄膜制备工艺
3．4．2不同氮气流量TiAlSiN薄膜的力学性能分析
3．4．3不同氮气流量TiAlSiN薄膜的XRD图谱分析
3．4．4不同氮气流量TiAlSiN薄膜EDS分析
3．4．5不同氮气流量TiAlSiN薄膜的微观形貌
3．5本章小结
第4章TiAlSiN梯度膜的制备
4．1梯度薄膜实验方案的设计
4．1．1试验方案的设计
4．1．2试验方案的工艺流程图
4．2等时间间隔TiAlSiN氮气流量梯度薄膜力学性能分析
4．2．1等时间间隔TiAlSiN氮气流量梯度结合力分析
4．2．2不同梯度的力学性能对比
4．2．3不同梯度XRD图谱分析
4．2．4不同梯度表面形貌
4．3梯度方案进一步优化
4．3．1梯度方案的优化设计
4．3．2优化梯力学性能分析
4．3．3优化梯度微观形貌
4．3．4优化梯度XRD图谱分析
4．3．5优化梯度能谱测试及其分析
4．3．6优化结果补充设计
4．3．7梯度薄膜与单层薄膜对比
4．4本章小结
第5章结论
参考文献
致谢
东北大学;
