声明
1 绪论
1.1 喷墨打印技术的发展历程及分类
1.2 压电式喷墨打印技术的优势及研究现状
1.3 课题研究意义及主要研究内容
2 压电式喷墨打印头振动板结构与工艺设计
2.1 振动板结构设计
2.2 工艺方法的选择
2.3 本章小结
3 压电喷墨振动板结构尺寸模拟
3.1 有限元分析的理论介绍
3.2 压电驱动器建模分析
3.3 压电驱动器结构尺寸模拟
3.4 本章小结
4 压电喷墨打印头振动板制备工艺
4.1 压电喷墨打印头振动板结构的MEMS制备工艺流程
4.2 压电喷墨打印头振动板制备工艺实验
4.3 振动板Cu上电极腐蚀工艺优化
4.4 本章小结
5 压电喷墨打印头振动板性能测试
5.1 压电驱动振动板封装工艺及振动测试方法
5.2 多普勒振动测试结果讨论
5.3 喷墨测试实验
5.4 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
大连理工大学;
