蓝宝石整流罩减反射薄膜的工艺研究

目录

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摘要

1绪论

1．1项目研究背景及意义

1．2光学薄膜技术的发展和应用

1．3蓝宝石整流罩的研制现状

1．3．1蓝宝石材料及成型加工现状

1．3．2蓝宝石整流罩光学薄膜的制备水平

1．4本文主要研究方向及所做的工作

2光学薄膜的设计原理及方法

2．1薄膜光学的理论基础

2．2光学薄膜的设计方法

2．2．1膜系的结构

2．2．2膜系评价函数

2．2．3膜系的优化方法

2．2．4膜系的分析与优选

3蓝宝石表面减反射薄膜的膜系设计

3．1蓝宝石光基片的光学性质

3．2薄膜材料的选择

3．2．1薄膜材料的性质

3．2．2薄膜材料的选择

3．2．3材料参数的获取

3．3蓝宝石基底减反射膜系的实现

3．3．1蓝宝石基底减反射膜系的设计目标

3．3．2蓝宝石基底减反射膜系的结构

3．3．3蓝宝石基底减反射膜系的分析与评价

4蓝宝石基底减反射薄膜的制备

4．1光学薄膜的制备方法

4．1．1化学气相沉积(CVD)

4．2．2化学液相沉积(CLD)

4．3．3物理气相沉积(PVD)

4．2影响薄膜质量的工艺要素及作用机理

4．3获得高品质薄膜的工艺途径

4．4镀膜设备

4．5工装的设计

4．6制备工艺参数的确定

4．7基片的清洁

4．8薄膜制备的工艺过程

5样品的检测

5．1光学性能检测

5．2机械强度检测

5．3抗热震性能

5．4检测结果分析

6论文总结

6．1论文结论

6．2论文局限

致谢

参考文献