基于压电效应的柔性ZnO基紫外光电探测器的性能研究

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第1章 绪 论

1.1 引言

1.2 研究背景

1.2.1 ZnO基薄膜简介

1.2.2 紫外光电探测器简介

1.2.3 压光电效应简介

1.3 柔性ZnO基紫外光电探测器的研究现状

1.4 柔性ZnO基探测器存在的问题

1.5 论文选题依据和主要研究内容

第2章 柔性Z nO基紫外光电探测器的制备和表征方法

2.1 ZnO基薄膜的制备与表征方法

2.1.1 射频磁控技术简介

2.1.2 X射线衍射分析(XRD)

2.1.3 吸收与透过光谱(A-T)

2.1.4 扫描电子显微镜(SEM)

2.2 柔性紫外光电探测器的制备与表征方法

2.2.1湿法刻蚀工艺简介

2.2.2 光电流与暗电流 (I-V)

2.2.3 响应度测试系统

第3章 柔性Z nO紫外探测器的制备和压光电效应研究

3.1 不同溅射功率下柔性ZnO探测器的制备与性能表征

3.2 基于压光电效应的高重复性柔性ZnO紫外光电探测器的性能研究

3.3 小结

第4章 柔性Mg0.2Zn0.8O紫外探测器的制备和压光电效应研究

4.1耗尽层宽度对柔性Mg0.2Zn0.8O紫外光电探测器性能的调控

4.2基于压光电效应实现对器件Mg0.2Zn0.8O/Au界面性能的调控

4.3 小结

第5章 双波段结构的柔性探测器的制备和压光电效应研究

5.1 双波段结构的柔性探测器的制备与性能表征

5.2压光电效应对柔性Au/Mg0.2Zn0.8O/ZnO双结探测器性能的影响

5.3 小结

第6章 结论与展望

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果

致 谢