复杂光学面形的自适应可变补偿干涉检测技术研究

目录

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第一章 绪论

1.1 课题来源与研究意义

1.1.1 课题来源

1.1.2 课题研究背景与意义

1.2 国内外发展现状概述

1.2.1 提高补偿检测灵活性研究现状

1.2.2 实现局部大误差解析研究现状

1.3 研究思路与研究内容

1.3.1 研究思路

1.3.2 研究内容

第二章 非球面的可变球差补偿检测

2.1 非球面的可变球差补偿检测原理

2.1.1 非球面的零位补偿检测原理

2.1.2 可变球差补偿检测的理论模型

2.2 大范围可变球差补偿器的优化设计

2.2.1 球面单透镜可变球差补偿器的优化设计及其检测能力

2.2.2 非球面单透镜可变球差补偿器的优化设计及其检测能力

2.2.3 测量能力对比及大范围可变球差补偿器的结构定型

2.3 非球面的可变球差补偿检测系统

2.3.1 检测系统的方案设计

2.3.2 检测系统的误差分析

2.4 非球面检测实验验证

2.5 本章小结

第三章 基于空间光调制器的浅度自由曲面可变补偿检测

3.1 基于干涉型计算全息编码的SLM相位控制

3.1.1 SLM的工作原理

3.1.2 SLM的干涉型计算全息编码理论

3.1.3 SLM的干涉型计算全息编码的实验验证

3.2 基于SLM的浅度自由曲面可变补偿检测系统

3.2.1 检测方案设计

3.2.2 检测系统的误差分析

3.3 浅度自由曲面检测实验验证

3.3.1 球面光路下自由曲面的检测

3.3.2 准直光路下自由曲面的检测

3.4 本章小结

第四章 大偏离量自由曲面的折衍混合可变补偿检测

4.1 大偏离量自由曲面的折衍混合可变补偿检测原理

4.1.1 理论模型与检测能力

4.1.2 检测光路设计

4.1.3 检测系统的误差分析

4.2 大偏离量自由曲面检测的实验验证

4.3 本章小结

第五章 加工过程中动态演变局部大误差的智能推理补偿检测

5.1 加工过程中动态演变局部大误差的智能推理补偿检测原理

5.1.1 自适应波前干涉仪的理论框架

5.1.2 自适应波前干涉仪的控制算法

5.1.3 局部大误差重构方法

5.1.4 检测系统的误差分析

5.2 局部大误差智能解析仿真

5.3 局部大误差智能解析实验验证

5.4 本章小结

第六章 自适应波前干涉仪的智能提升

6.1 全局优化框架下的自适应波前干涉仪性能分析

6.2 基于机器视觉和遗传算法的自适应波前干涉仪的智能提升原理

6.2.1 基于机器视觉的干涉条纹区域划分

6.2.2 基于遗传算法的自适应波前干涉仪鲁棒性控制

6.2.3 结合机器视觉和遗传算法的自适应波前干涉仪智能控制方法

6.3 MV-GA控制方法的仿真分析

6.4 MV-GA控制方法的实验验证

6.5 本章小结

第七章 总结与展望

7.1 全文总结

7.2 研究展望

致 谢

参考文献

作者在学期间取得的学术成果