石墨烯柔性应变传感器机理研究与设计制造

目录

声明

第一章 绪论

1.1 研究背景和意义

1.2 文献综述

1.2.1 石墨烯基本特性及应用领域

1.2.2 石墨烯柔性应变传感器研究现状

1.3 论文研究思路与内容安排

1.3.1 论文的研究思路

1.3.2 论文的内容安排

第二章 石墨烯柔性应变传感器机理分析与结构工艺设计

2.1 石墨烯薄膜电阻应变传感器敏感机理分析

2.2 基于纳米片重叠-导电路径破坏理论的薄膜应变敏感机理

2.2.1 两种石墨烯膜内部结构的特点

2.2.2 基于纳米片重叠-导电路径破坏理论的敏感机理分析

2.3 传感器结构与工艺设计

2.3.1 传感器结构设计与材料选择

2.3.2 传感器总体工艺流程设计

2.4 传感器测试方法

2.4.1 自动控制实验平台

2.4.2 测试方案设计

2.5 本章小结

第三章 基于3M胶带-CVD石墨烯结构的柔性应变传感器

3.1 镍基CVD石墨烯膜的制备与表征

3.1.1 镍基CVD石墨烯膜的制备

3.1.2 镍基CVD石墨烯膜的表征

3.2 3M胶带-CVD石墨烯传感器制作工艺

3.3 3M胶带-CVD石墨烯传感器性能测试与参数拟合

3.3.1 3M胶带-CVD石墨烯传感器应变步进测试

3.3.2 3M胶带-CVD石墨烯传感器台阶往复测试与循环测试

3.3.3 3M胶带-CVD石墨烯传感器参数拟合

3.4 3M胶带-CVD石墨烯传感器在拉伸应变下的结构变化

3.5 本章小结

第四章 基于PDMS-CVD石墨烯结构的柔性应变传感器

4.1 PDMS-CVD石墨烯传感器制作工艺

4.2 PDMS-CVD石墨烯传感器性能测试与参数拟合

4.2.1 PDMS-CVD石墨烯传感器应变步进测试

4.2.2 PDMS-CVD石墨烯传感器台阶往复测试与循环测试

4.2.3 PDMS-CVD石墨烯传感器参数拟合

4.3 PDMS-CVD石墨烯传感器在拉伸应变下的结构变化

4.4 两种不同基底的镍基CVD石墨烯柔性应变传感器对比分析

4.5 本章小结

第五章 基于PDMS-真空抽滤石墨烯结构的柔性应变传感器

5.1 真空抽滤石墨烯膜的制备与表征

5.1.1 真空抽滤石墨烯膜的制备

5.1.2 真空抽滤石墨烯膜的表征

5.2 PDMS-真空抽滤石墨烯传感器制作工艺

5.3 PDMS-真空抽滤石墨烯传感器性能测试与参数拟合

5.3.1 PDMS-真空抽滤石墨烯传感器应变步进测试

5.3.2 PDMS-真空抽滤石墨烯传感器台阶往复测试与循环测试

5.3.3 PDMS-真空抽滤石墨烯传感器参数拟合

5.4 PDMS-真空抽滤石墨烯传感器在拉伸应变下的结构变化

5.5 真空抽滤石墨烯与镍基CVD石墨烯的应变敏感特性对比分析

5.6 本章小结

第六章 总结与展望

6.1 研究总结

6.2 研究展望

致 谢

参考文献

作者在学期间取得的学术成果