辉光放电光谱仪激发源改进研究

目录

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第一章 绪论

1.1课题研究背景与意义

1.1.1 现代分析仪器

1.1.2 原子光谱分析技术

1.1.3 辉光放电光谱技术

1.2 国内外研究现状

1.2.1 光谱分析研究现状和发展趋势

1.2.2 辉光放电光谱仪研究现状和发展趋势

1.3 课题研究内容和意义

1.4 论文结构

1.5 本章小结

第二章 辉光放电原理与辉光光谱仪激发源简介

2.1 辉光放电原理

2.1.1 辉光放电等离子体的形成

2.1.2 辉光放电等离子体溅射激发样品

2.2 Grimm型辉光放电光谱（DC-GD-OES）激发源结构

2.3 激发源的两种供电方式

（1）直流供电方式

（2）射频供电方式

2.4 直流辉光放电光谱（DC-GD-OES）激发源

2.5 激发源存在的问题及预研工作

2.6 本章小结

第三章 直流辉光光谱仪激发源供电系统改进

3.1 低气压下气体放电特性

3.2 电源供电方式的改进

3.3 高压脉冲电源器件的选取

3.3.1 压电陶瓷点火器

3.3.2 特斯拉线圈

3.3.3 镇流器

3.3.4 高压脉冲电路

3.4 高压脉冲电源与直流电源并联驱动激发源点火探究

3.4.1 电源电压、电流、氩气气压等参数对辉光起辉条件的影响

3.4.2 改变电极间距参数时对激发源起辉的影响

3.5 本章小结

第四章 光谱仪激发源阴极盘的改进设计

4.1 阴极表面温度的影响因素

4.2 阴极盘

4.2.1 阴极盘改进设计

4.2.2 阴极盘的密封性的处理

4.3 改进设计后的阴极盘气密性测试

4.4 改进设计后的阴极盘对阴极材料的溅射效果测试

4.4.1 镀锌板的激发溅射实验

4.4.2 铁基块状样品的激发溅射实验

4.5 本章小结

第五章 总结与展望

5.1总结

5.2展望

参考文献

致谢