辉光放电光谱仪激发源用直流高压恒流源

目录

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第一章 绪论

1.1 课题研究背景

1.2 辉光光谱技术国内外发展现状

1.3 论文的主要内容及意义

第二章 辉光放电激发原理

2.1 辉光放电等离子体溅射激发样品基本原理

2.2 辉光放电光谱仪

2.3 直流辉光放电光谱（DC-GD-OES）激发源

2.4 本章小结

第三章 直流高压恒流系统的研制

3.1 直流高压整流滤波电路

3.1.1 直流高压整流滤波电路工作原理

3.1.2 直流高压整流滤波电路保护措施

3.2 压控恒流电路

3.2.1 压控恒流电路工作原理

3.2.2 误差比较电路

3.2.3 采样电路选型

3.2.4 双MOS-FET并联电流调整电路

3.2.5 压控恒流电路的保护措施

3.3 直流高压恒流源数字控制系统

3.3.1 压控恒流源PID控制

3.3.2 压控恒流系统PID控制仿真

3.3.3 PID数字控制系统硬件设计

3.3.4 单片机最小系统

3.3.5 A/D转换模块

3.3.6 D/A转换模块

3.3.7 人机交互模块

3.4 本章小结

第四章 直流高压恒流源系统性能测试

4.1 直流高压恒流源电气性能技术指标测试

4.1.1 输出电流与给定值相对误差测试

4.1.2 输出电流纹波测试

4.1.3 负载调整率测试

4.1.4 输入电压调整率测试

4.1.5 实验结果分析

4.2 恒流系统样品溅射测试

4.2.1 样品测试过程

4.2.2 实验结果分析

4.3 本章小结

第五章 总结与展望

5.1 论文总结

5.2 工作展望

参考文献.

致谢