基于电解质栅介质ZnO--TFT的研究

目录

声明

第一章绪论

1.1 研究背景与意义

1.2 薄膜晶体管简介

1.2.1 薄膜晶体管结构与工作原理

1.2.2 薄膜晶体管的主要性能参数

1.3 氧化物薄膜晶体管

1.3.1 氧化物薄膜晶体管的优势

1.3.2 氧化物薄膜晶体管的研究进展

1.3.3 氧化锌薄膜晶体管

1.4 双电层薄膜晶体管的介绍

1.4.1 双电层薄膜晶体管的工作原理

1.4.2 双电层TFT的栅介质材料及其应用介绍

1.5 论文的主要研究内容

第二章 器件制备工艺与测试技术

2.1 衬底清洗技术

2.2 薄膜制备技术

2.2.1 溶液法

2.2.2 原子层沉积法

2.2.3 磁控溅射法

2.2.4 真空热蒸发法

2.3 薄膜的表征技术

2.3.1 原子力显微镜（AFM）

2.3.2 光致发光测试系统（PL）

2.3.3 TFT器件的测试技术

2.4 本章小结

第三章 壳聚糖ZnO 薄膜晶体管

3.1 壳聚糖ZnO 薄膜晶体管的工艺制备流程

3.2 壳聚糖和ZnO的薄膜表征

3.2.1 壳聚糖薄膜表面形貌

3.2.2 ZnO薄膜表面形貌

3.2.3 ZnO薄膜PL谱分析

3.3 基于ITO/壳聚糖/ZnO MIS结构的电容特性

3.4壳聚糖栅介质ZnO-TFT性能测试

3.4.1 可见光透光率测试

3.4.2 基本电学性能测试

3.5 壳聚糖ZnO-TFT脉冲响应测试

3.5.1 单脉冲响应

3.5.2 双脉冲异化（Paired pulse facilitation，PPF）

3.6 壳聚糖ZnO-TFT稳定性能测试

3.6.1 栅压应力的稳定性

3.6.2 空气中的稳定性

3.6.3 连续脉冲下的稳定性

3.7本章小结

第四章基于壳聚糖ZnO-TFT的反相器及仿真

4.1 电阻负载型反相器直流特性测试

4.1.1 反相器直流电压传输特性

4.1.2 反相器的信号处理功能

4.2 电阻负载反相器的仿真

4.2.1 器件转移特性拟合

4.2.2 电阻负载反相器的直流特性仿真

4.2.3 电阻负载反相器的信号处理仿真

4.3 电阻负载型反相器交流小信号特性

4.4 本章小结

第五章不同电解质材料和氧化锌工艺的器件探究

5.1 基于鸡蛋清作栅介质的溅射法ZnO-TFT

5.1.1 基于旋涂鸡蛋清薄膜作栅介质的溅射法ZnO-TFT

5.1.2 基于鸡蛋清离子液体作栅介质的溅射法ZnO-TFT

5.2 一种新型结构的双栅ZnO-TFT

5.2.1 双栅ZnO-TFT 的壳聚糖底栅电学特性测试

5.2.2 双栅ZnO-TFT 的鸡蛋清顶栅电学特性测试

5.2.3 双栅ZnO-TFT 电学特性测试

5.3 基于 ALD氧化锌的双电层薄膜晶体管

5.3.1 ALD氧化锌的AFM形貌图

5.3.2 基于鸡蛋清栅介质的ALD ZnO-TFT

5.3.3 基于壳聚糖栅介质的ALD ZnO-TFT

5.4 本章小结

结论

展望

参考文献

攻读硕士学位期间取得的研究成果

致谢