声明
第1章 绪论
1.1 等离子体简介
1.2 双频容性耦合放电特性的研究进展
1.3 本文的研究内容安排
第2章 等离子体研究方法
2.1 光谱诊断研究
2.2 PIC/MCC数值模拟方法
2.3 实验设备
2.4 本章小结
第3章 8/100MHz双频容性耦合氩氮混合气体放电的光学特性研究
3.1 引言
3.2 实验装置及实验条件
3.3 发射光谱的诊断结果
3.4 氩氮混合气体放的PIC/MCC数值模拟研究
3.5 本章小结
第4章 8/100MHz双频容性耦合氩氮混合气体放电的电学特性研究
4.1 引言
4.2 实验装置
4.3 鞘层放电图像变化
4.4 随高频功率变化的电学特性
4.5 随氩气含量变化的电学特性
4.6 本章小结
总结与展望
参考文献
致谢
个人简历、在学期间发表的学术论文及研究成果
西北师范大学;